3.甩干。噴淋結(jié)束，甩干機(jī)進(jìn)入甩干階段，甩干桶按照設(shè)定的速度轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)定的時(shí)間，同時(shí)甩干機(jī)加熱器加熱高純N2,并噴向硅片，去除硅片表面水分，達(dá)到甩干的效果。

　　4.甩干時(shí)間到，甩干桶停止供電。啟動(dòng)剎車(chē)動(dòng)作。

　　5.停止。甩干桶*停止轉(zhuǎn)動(dòng)，機(jī)器回到復(fù)位待機(jī)狀態(tài)。

　　6.機(jī)器在運(yùn)行過(guò)程中，如果遇到特殊情況，按動(dòng)STOP按鈕，機(jī)器馬上停止轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)入復(fù)位待機(jī)狀態(tài)。